TEM和STEM频频王人使用比SEM高的加快电压（用于LSI分析的为100~300kV），电子束透过薄样品（100nm傍边）的TEM，在透过样品后得到图像。在STEM中，用减弱的电子束进行扫描联系我们，检测透射电子或散射电子得到图像。
参照图2.49（a）线路TEM机制的成见。在图2.49中，为简单起见，不祥对于电子光学透镜的形色。如图2.49所示，照耀在样品上的电子束穿过样品，在检测系统中得到用电子束照耀的样品部分的放大投影图像。图2.49（b）显露了TEM图像的示例，不仅是面容，还有衍射对比度（来自电子衍射的对比度）。与不雅察疏浚区域的图2.50（b）的STEM图像比较，不错明晰地看出各异。相干获取此TEM图像的配景等驻守信息，请参阅
参考文件[1] 的3.4节。
软件开发(a)STEM机制的成见图(b)STEM图像的示例
图2.50STEM机制的成见图和STEM图像的示例
接下来将参考图2.50（a）来解说STEM的责任成见。通常为了简单起见，不祥对于该部分透镜的形色。STEM的光束比TEM更窄。通过扫描光束得回图像。由透射电子产牛的图像被称为明场图像.而由散射电子产生的图像被称为暗场图像。天然也有凡俗的TEM带有STEM形状的，联系我们然则最近使用的频频是STEM专用装配。暗场STEM的示举例图2.50（b）所示。从对比度中不仅不错看到面容，也不错看到元素的各异。
在此示例中，亮堂区域含Ti较多，渺茫区域含Si较多。与TEM图像不同，莫得不雅察到衍射对比度。与图2.49（b）中的TEM图像比较，不错明晰地看出其各异。获取此STEM图像的配景等驻守信息可在参考文件[1]的3.4节中找到。
摘自：图解初学半导体器件瑕玷与失效分析手艺精讲
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作家:上田修 山本秀和;机械工业出书社
日 可靠性手艺丛书裁剪委员会 主编
二川清 编辑
上田修 山本秀和 著
李哲洋 于乐 译
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